晶圓UV照射器（UV照射波長交換型）

使用

是對半導(dǎo)體制造用晶片加工（切片和背面研磨）工序中使用的紫外線固化型膜照射紫外線（UV）的裝置。（UV膜固化裝置）
●晶圓切割帶（UV膜固化裝置）的固化應(yīng)用。
●輻射器可以在每個波長上交換。
●小批量生產(chǎn)應(yīng)用的理想選擇。
采用氮置換（N 2**）機制減少了UV固化過程中的氧氣抑制。

特點

• 用氮置換（N 2 prepurge）機制。
• 6英寸，8英寸晶圓兼容。
• 生產(chǎn)12英寸晶圓。
• 可交換的輻照器（365,385,395,405nm等）。
• 可調(diào)亮度從0到100％。

MUVBA - 0.4×0.6×0.2

特點

●這是一個晶圓紫外線輻射器。
●為氧抑制通過N 2吹掃機構(gòu)降低UV固化
●在一個音量旋鈕UV照射強度，可調(diào)節(jié)（0-100％）
●可以通過閥的流量計來控制N 2吹掃量。
●使用簡單的安裝結(jié)構(gòu)，可輕松將紫外線輻射器更換為其他波長。

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警報指示	LED燒盡報警 LED過熱報警
使用環(huán)境	溫度：0至40°C，濕度：20至85％RH（無冷凝），室內(nèi)設(shè)備
存儲環(huán)境	溫度：0至60°C，濕度：20至85％RH（無冷凝）
額定電源電壓	100-240V