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晶片工具制造商日本Fluoro福樂(lè)推出新品——非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤
伯努利查克利用伯努利原理,通過(guò)噴出空氣,產(chǎn)生更強(qiáng)大的吸力。輸送物與伯努卡盤的表面端點(diǎn)接觸,不旋轉(zhuǎn),并且可以在非接觸狀態(tài)下以穩(wěn)定的保持力輸送晶片中心。為了用一個(gè)本體部對(duì)應(yīng)各晶片尺寸而設(shè)計(jì)。
	
	 
		導(dǎo)向制動(dòng)器和晶片點(diǎn)接觸
	 
		引導(dǎo)環(huán)白色銷將晶片放置在4個(gè)位置的內(nèi)側(cè),然后按下啟動(dòng)按鈕,晶片將懸浮并靠近中心。然后,用黑角銷固定,可進(jìn)行非接觸式輸送。
	
●持手的使用角度20度,45度,從90度的3點(diǎn)主體部能選擇。(使用角度為固定角度,使用角度的改變只有通過(guò)改變機(jī)身部分才能改變)
●導(dǎo)軌制動(dòng)器有一個(gè)平緩的錐度,因此晶圓邊緣點(diǎn)接觸。
●抗靜電聚碳酸酯使用的引導(dǎo)環(huán),通過(guò)目視的定位和吸力狀態(tài)的確認(rèn)能。
●由于主體部導(dǎo)電性尼龍樹脂的采用謀求了輕量化。
●雙面都有圖案印刷,50 μ m的薄能對(duì)應(yīng)處理困難的晶圓。
●也對(duì)應(yīng)為角型等對(duì)象物量身定做的設(shè)計(jì)品。
●開關(guān)可以選擇按鈕或拉桿。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
◆請(qǐng)從使用角度20度,45度,90度的3點(diǎn)選擇主體部。(見下文圖片)
	
	
	
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